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北京中芯国际新水源厂
项目名称:北京中芯国际新水源厂
推荐单位:北京碧水源科技股份有限公司
参与环节:投资建设运营
项目所在地:北京市大兴区亦庄经济开发区内
项目概况
该项目是我国市政再生水作为园区工业生产用水的创新试点,是污水资源化在工业污水处理及资源化的应用案例。设计规模1万吨/天,一期规模 0.5万吨/天,其处理工艺为最先进的“UF-RO”双膜技术,项目以小红门污水厂出水作为水源,经双膜工艺净化处理后,为中芯国际芯片制造供给工业用超纯水。
项目示范意义
该项目为碧水源首座“UF-RO”双膜工艺示范项目,有效保障了中芯国际北方项目集成电路板生产用水水质,为我国污水资源化在高端制造工业中的的应用起到了示范作用。
项目亮点介绍
(1) 实施效果
该项目于2016年6月建成投产,稳定运行5年,年均处理污水量约154万吨,净化为工业超纯水,为中芯国际(北方)提供芯片制造工艺用水。
(2) 社会效益
该项目年产值超过6000万元,既有效保障中芯国际(北方)项目集成电路板生产用水水质,又实现产城融合废水高效循环利用,为积极推动工业废水资源化利用,推动我国高质量、可持续发展起到示范作用。
(3) 生态效益
该项目实现了污水变废为宝,一举两得,取得了良好的生态效益。
项目技术工艺/装备简介
(1)技术工艺/装备名称
该项目以小红门污水处理厂的出水作为水源,由超滤进水泵升压至自清洗过滤器进入超滤系统,超滤系统产水经反渗透进水泵、保安过滤器及高压泵进入反渗透系统进行深度脱盐,反渗透系统产水进入终端产水箱,通过输水泵送至中芯国际缓冲水箱。
(2)技术工艺/装备原理
CMF 采用碧水源具有完全自主知识产权的超滤膜技术,其机理是利用超滤膜两侧的压力差,使水和溶解物透过膜,而截流悬浮物、细菌等。
反渗透采用碧水源自主生产的反渗透膜元件,脱盐率高,出水水质稳定,几乎能阻挡所有溶解性盐及分子量大于100的有机物。
(3)技术工艺/装备特点
连续膜过滤(CMF技术)特点:
出水水质好:孔径分布窄,过滤精度高,产水浊度小于 0.5NTU;
抗污染性强:元件宽流道结构、脉动式运行,专有均化盘结构设计,组器环形布水布气结构,更加均匀,有效控制污染;
占地面积小:膜堆集成度高,系统占地面积小;
安装维护易:可拆卸式膜组件,结构紧凑,安装方便适用于大中型工程项目;
使用寿命长采用新型共混配方和“3H”制膜专利技术,使用寿命 5 年以上。
反渗透(RO)技术特点:
脱盐率高:采用全新的涂层技术和自动化卷膜工艺,膜元件标准脱盐率可达 99.5% 以上;
产水率高:精准界面反应控制及二次后改性交联技术,使膜元件的综合脱盐率和产水量均达到国内领先水平;
抗污性强:采用专利涂覆技术,对膜表面进行物理化学改性;“短膜袋,多流道”设计,降低膜污染,提高抗污染性能;
寿命长:独特元件结构及后处理工序,配合 34mil 进水宽流道,可在更宽泛的 pH(1~13)内达到有效清洗效果,使元件更经久耐用;
能耗低:改进优化芳香族聚酰胺脱盐层、开发更大比表面积,满足在相同产水量要求时,降低运行压力,节约能源。
(4)工艺/装备流程图
工艺流程图
(5)厂区/项目地/工艺设备照片
项目地现场图
项目地设备图