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1.1在HVAC系统中应用：可根据洁净室的体积，选用适当的臭氧发生器，将臭氧发生器外置在机房里,通过连接管接入HVAC系统的送、回风主管道的合适位置，其PLC控制系统可预置消毒时间等工艺参数。消毒时，关闭约90新风进口阀门和回风对外排放阀门，使整个被消毒的洁净室空气通过净化系统风道形成循环状态。每日开机1h进行空气灭菌，可替代化学药剂熏蒸及设备表面灭菌需开机2-2.5h。
1.2也可在洁净区内任何一个具有送回风口洁净室内单机使用，作局部灭菌。
1.3对输液、输料管道、过滤系统、物料贮罐、反应罐等密闭容器消毒灭菌，可选用专用臭氧发生器将自备无油气泵制取百级净化压力空气输入臭氧发生室内，生产出300μg/L以上浓度的臭氧化气体，导入需灭菌的设备或系统中。
1.4对工艺用水、纯化水、纯化水管道、生产用水进行灭菌；可应臭氧发生器做终端灭菌。
1.5在密闭容器中通入臭氧，并利用容器中物料的翻动或搅拌作用对粉体原料与部分中药原料进行灭菌，解决了多年对粉体类或部分中药原料难以灭菌的问题。