| 等离子清洗机 | 1 | 套 | PIE | Tergeo-Plus | 是 | 1. 安装培训服务。2. 质保两年3. 质保期外有偿服务 | 等离子系统能够产生氧气, 氮气,氩气等离子来清除样品表面的污染物，去除光阻胶，产生表面活性功能组，以及让表面亲水。1） 系统使用自动数字质量流量计来混合两到三路工作气体。气体流量和混合比能够用配方自动控制。2） 7英寸电阻触摸屏操作界面支持多配方工作方式。3） 150 瓦 13.56MHz射频电源，自动阻抗匹配，功率连续可调。4） 可以实时测量等离子源强度。样品室指标：1） 材料：石英2） 尺寸：圆柱形石英管。内径：110毫米，外径：120毫米，深度：280毫米，壁厚：5毫米。3） 观测窗： 5毫米厚石英玻璃窗。4） 样品托盘：100X200毫米石英板。等离子源指标：1） 等离子强度探测器实时定量检测等离子状态。2） 电阻耦合电离方式。3） 外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。射频电源指标：1） 工业标准的13.56MHz射频频率2） 最高功率：150瓦3） 射频功率可以从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调。4） 射频输出可以工作在脉冲方式。脉冲比可以从1/255调到255/255（连续输出）。5） 自动阻抗匹配。气体输入和真空系统指标：1） 两路质量流量计控制的气体输入口。可以以任意比例混合气体。2） 质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量。3） 一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。4） 自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。5） 高性能气压计可以测量1e-4 Torr到大气压之间的气压。6） ?英寸Swagelok 气体接口7） NW/KF25法兰接口用来连接真空泵。8） 样品室和真空泵之间有一个隔离阀门，当样品室被放气到大气压是，真空泵可以正常工作。9） 最低真空泵要求：速度：>1cfm。最低气压： | 无 |
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